直線(xiàn)電機技術(shù)已廣泛應用于半導體行業(yè)高端運動(dòng)控制系統中。針對亞微米級精度、納米級位置穩定性的超高精密工況，對設備零部件精度、結構設計均有著(zhù)嚴苛要求，任一部件的瑕疵，都會(huì )影響設備整體運行性能。

 依托完善的零部件配置與成熟的機械結構設計方案，可搭建高穩定性、高精度的成套運動(dòng)系統平臺，適配半導體高端生產(chǎn)場(chǎng)景。晶圓檢測設備對加工精度與生產(chǎn)效率要求嚴苛，LSM直線(xiàn)電機憑借自身獨特的性能優(yōu)勢，可匹配半導體高科技行業(yè)的嚴苛使用標準，搭配精密零部件組成的機械運動(dòng)系統，能夠實(shí)現優(yōu)異的精密運行性能。

 在貼片機等微電子設備領(lǐng)域，無(wú)損檢測（NDT）是保障產(chǎn)品功能與使用可靠性的核心工序。在線(xiàn)檢測環(huán)節對運行速度、定位精度要求較高，可有效規避質(zhì)量檢測工序影響整條生產(chǎn)線(xiàn)產(chǎn)能的問(wèn)題。

 針對無(wú)源器件、復雜IC等不同品類(lèi)產(chǎn)品，行業(yè)可適配光學(xué)檢測、X射線(xiàn)檢測、超聲波檢測等多樣化檢測技術(shù)。搭載直線(xiàn)電機技術(shù)的成套運動(dòng)系統，能夠為檢測設備提供高精度運動(dòng)支撐，助力設備提升檢測效率與生產(chǎn)產(chǎn)能。

 精密檢測設備想要實(shí)現優(yōu)異運行性能，需要移動(dòng)運動(dòng)平臺與檢測系統精準同步協(xié)作。HANS可提供成套運動(dòng)平臺系統與運動(dòng)控制單元，滿(mǎn)足檢測設備核心運動(dòng)技術(shù)要求。設備廠(chǎng)商可聚焦檢測算法、缺陷識別軟件等核心技術(shù)研發(fā)，同時(shí)依托高精度直線(xiàn)電機運動(dòng)系統，保障晶圓檢測、器件檢測設備的精度、重復性與生產(chǎn)效率。