由于數控機床加工速度的提高，對加工精度的要求也越來(lái)越高。輪廓精度已成為影響工件表面質(zhì)量的重要因素。對于XY平臺伺服系統而言，輪廓加工軌跡是X軸和Y軸協(xié)調運動(dòng)的結果，輪廓精度是各單軸位置精度與兩軸聯(lián)動(dòng)精度的總和。系統運行過(guò)程中，X、Y軸受到載荷擾動(dòng)、機械慣性、雙軸響應速度失配等影響，對輪廓精度有很大影響。

　　與"旋轉電機+滾珠絲杠"進(jìn)給方式相比，直線(xiàn)電機伺服系統通過(guò)消除中間機械傳動(dòng)鏈，可以實(shí)現高響應、高精度的直線(xiàn)運動(dòng)，避免了有間隙、摩擦、動(dòng)剛度不足等缺點(diǎn)。本文XY平臺驅動(dòng)元件采用永磁直線(xiàn)同步電動(dòng)機，充分發(fā)揮了其高速動(dòng)態(tài)響應和跟蹤精度高的優(yōu)點(diǎn)。

　　單軸獨立控制廣泛應用于數控機床多軸聯(lián)動(dòng)控制等諸多領(lǐng)域，通過(guò)降低各軸的跟蹤誤差間接降低輪廓誤差。本文的單軸速度控制器采用PDFF控制，這是一種雙自由控制結構，可以考慮系統的抗干擾性能和快速跟蹤性能。

　　但是，由于CETF所包含的參數不確定性以及交叉耦合控制器參數的確定難度較大，本文提出了一種變增益交叉耦合控制方法，用來(lái)解決該問(wèn)題。